微波等离子体技术
等离子体(plasma)是物质气体、液体、固体以外，存在的第四态，比气态能量更高,等离子体是良导体，受磁场影响。微波是等离子体产生的方法之一，微波等离子体（microwave plasma）具有无电极、大面/体积、低能耗、高效率和低成本等多种优点，比之其它电激励类型的等离子体有更高的活性。微波等离子体的运行气压很宽，从10-3Pa（微波ECR等离子体）到超过大气压（微波等离子体炬）。
微波等离子体技术的应用包括如下几个方向：
封闭式微波等离子体技术
等离子体是物质存在的第四态，比气态能量更高,等离子体是良导体，受磁场影响。微波是等离子体产生的方法之一，微波等离子体无电极、大体积、运行气压宽、低能耗、高效率和低成本等优点，其等离子体发生室和处理室可分合，工艺灵活。微波等离子体具有其他等离子体难以比拟的优势和特点。
开放式微波等离子体技术（等离子体炬）
等离子体火炬（亦称等离子体发生器或等离子体加热系统）就是依据这一原理研制的专门设备。等离子体火炬通过电弧来产生高温气体，可在氧化、还原或惰性环境下工作，可以为气化、裂解、反应、熔融和冶炼等各种功能的工业炉提供热源。微波等离子体炬就是以微波为激发能量的开放式等离子体技术。
