气相法（lGas phase method）制备石墨烯工艺，是指在气态或者等离子态中，直接生长石墨烯的方法，包括化学气相沉积法、电弧放电法等。气相法采用管式结构，通过有机气体等高温等离子分解，在催化基体上生长为石墨烯材料。微波气相法（microwave plasma vapor deposition）采用微波为能源的管式炉结构，通过微波激发等离子体形成高温热解沉积和生长条件，实现石墨烯制备的方法。

微波气相法石墨烯技术的应用包括如下几个方向：