等离子体是物质存在的第四态,比气态能量更高,等离子体是良导体,受磁场影响。微波是等离子体产生的方法之一,微波等离子体无电极、大体积、运行气压宽、低能耗、高效率和低成本等优点,其等离子体发生室和处理室可分合,工艺灵活。微波等离子体具有其他等离子体难以比拟的优势和特点。